主要特点:

• 电阻测量可达1018 Ω

• 电流测量范围10aA - 20mA

• 最小电流量程输入端压降<20μV

• 200TΩ 输入阻抗

• <3fA 偏置电流

• 测试速率425 rdgs/s

• 噪声0.75fA p-p

• 内置±1kV电压源

• 独特的高电阻测量电压反接方法

• 可选的插件式扫描卡

性能指标

半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅 0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。

测量范围宽

6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：
• 电流测量范围：10aA - 20mA
• 电压测量范围：1μV - 200V
• 电阻测量范围：1Ω - 1018Ω
• 电荷测量范围：1fC - 2μC

改进的高灵敏度测量

许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V /I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。

即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为 困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通常都显示出电流。这些电流一般等于或大于施加电压产生的电流。 在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率读数甚至错误的负值。吉时利6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题， 并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量，特别是与8009型电 阻测试夹具一起使用时。

变换极性法

6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电 流。并剔除背景电流的第一级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性 电压，然后在指定延迟（测量时间）后测量电流。接着，改变电压极性， 使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个最新电 流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即 舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻（或电阻 率）测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚 的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA。

与数字多用表类似的简单操作

6517B型静电计/高阻表采用与数字多用表类似的简易操作，可通过前面板，利用单一按钮控制电阻测量等 重要功能。还可以通过内置IEEE-488 接口实施控制，因此，可利用计算机 控制器通过总线对所有功能进行编程。

高阻测量

6517B型静电计/高阻表的诸多特 性和能力有助于确保高阻测量应用的准确度。例如，其内置电压源简化了 绝缘器电阻率和所用电源电压电平之间关系的确定。它还非常适合电容器泄漏和绝缘电阻测量、印刷电路板表面绝缘电阻测试、电阻器电压系数测试以及二极管泄漏特性分析。

温度和湿度测试

湿度和温度可能严重影响材料的 电阻率值。为了帮助您准确比较在不同情况下测得的读数，6517B型静电 计/高阻表提供内置K型热电偶和一个可选的6517-RH型相对湿度探头。其内置数据存储缓冲器允许记录和调用 具有时间、温度和相对湿度Stamping 的读数。

附件扩展测量能力

利用多种可选附件，可以扩展 6517B型静电计/高阻表的应用，并改进其性能。

扫描卡。利用两张扫描卡，可以简化多个信号的扫描。每张卡都可以插入仪器后面板的插槽。6521型扫描卡提供10个低电平电流扫描通道。 6522型扫描卡提供10个高阻抗电压开关或低电流开关通道。

测试夹具。8009型电阻率夹具是一款受保护的测试夹具，用于样本材料的体电阻率和表明电阻率测量。它包括 按ASTM标准构建的不锈钢电极。该 夹具的电极尺寸已在6517B型静电计 /高阻表预编程，因此无需计算其数 值，可以稍后手动输入。这个附件旨 在保护用户避免接触潜在的危险电压 ——自动开启夹具盖，关闭6517B型 静电计/高阻表电压源输出。

应用

6517B型静电计/高阻表非常适合物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域的低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量。其极低的电压降非常适合太阳能电池测量，其内置电压源和低电流灵敏度使之成为基于聚合物的纳米线等高阻测量的解决方案。其高速和易用性使之成为质量控制、产品工程和生产测试（包括漏流、击穿和电阻测试）应用的好选择。利用6517B型静电计/高阻表的电压反转方法，可以大幅改进对绝缘材料的体电阻率和表面电阻率测量。 6517B型静电计/高阻表还非常适合电化学应用，如离子选择性电极和pH测量、 电导电池和电势测定。

改进型6517B静电计/高阻表

6517B型静电计/高阻表是一款升级型号，用于取代1996年推出的6517A 型仪器。利用SCPI指令为6517A型仪器建造的软件应用程序无需任何修改即可用于6517B型静电计/高阻表。不过，同早期的6517A设计相比，6517B型静电 计/高阻表进行了一些改进。其内部电池供电的内存缓存可存储高达50,000个 读数，允许用户更长时间地记录测试结果，并存储更多与读数有关的数据。该新型仪器还为内部缓存提供更快的读取速度(425读数/秒)，还可通过IEEE 总线存入外部存储器(400读数 /秒)。